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日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

簡要描述:日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型
測量距離45mm
檢測物體3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度12.5±5°(注4)
晶圓間距間距3mm以上時,可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

產(chǎn)品型號: CX-421

所屬分類:SUNX傳感器

更新時間:2024-08-24

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

瀏覽次數(shù):1265

詳情介紹

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

工作原理:
利用反射光量檢測時,反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測,不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì),吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此,對于使用單波長激光的傳感器,可能會因光全被吸收而無法檢測。

尺寸圖

  • 單位mm

日本SUNX晶圓定位傳感器結(jié)構(gòu)小巧、輕盈型

詳細資料:
而LED光源的光具有定波長段,即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
實現(xiàn)0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設置情況靈活調(diào)節(jié)。
可從四個方向引出電纜
內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm,約為75g的小巧、輕盈型。
以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。



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